- ВЧ мощность ИСП от 500 до 3500 Вт
- Напряжение смещения, подаваемого на подложкодержатель от -15 до 500 В
- Температура подложкодержателя от -50 до 400 ᴼС
- Рабочее давление от 0.5 до 3 Па
- Расход газа-травителя до 3л/ч
- Возможность регулировки подложкодержателя относительно области генерации плазмы от 15 до 5 см
- Скорость травления до 1.7 мкм/мин
- Селективность по отношению к хрому до 50
- Угол наклона стенки профиля травления до 85ᴼ
Для более подробной информации и заказа обращайтесь на электронную почту.
